基于自由形式光源的快速制定ADI的方法

摘要

本发明提供一种基于自由形式光源的快速制定ADI的方法,取光源文件，光源文件为在一个半径为1的圆内，每个取样点均记录一个光强值，每个取样点均记录其x坐标、y坐标和光强；根据每个取样点的光强分解得到X方向的第一光强和Y方向的第二光强；之后计算第一总光强与第二总光强的光强比；提供版图，获取版图中连接孔X方向的第一设计值和Y方向的第二设计值，以连接孔刻蚀后的偏差值与第一设计值的总和作为X方向的第一ADI值，以第一ADI值与光强比的比值作为Y方向的第二ADI值。发明可以减少对原始芯片设计版图进行ADI值设定和平均标准偏差的添加的ADI目标值设定迭代次数，减少OPC调试时间，加快出版。