一种具有外摆线蚀刻槽道的超薄VC均热板及其设计方法

摘要

本发明涉及精密蚀刻技术领域，主要针对中高温发热电子元器件的降温，而提供一种具有外摆线蚀刻槽道的超薄VC均热板及其设计方法，在VC均热板的下盖板上设置有至少两条外摆线蚀刻槽道用于冷却液循环降温，外摆线蚀刻槽道包括与初始储液槽连通的冷却液流出口或者冷却液回流入口，以及与边缘冷却液储液槽连通的冷却液流出口或者冷却液回流入口；初始储液槽的位置与电子元器件的中高温区为同一位置，边缘冷却液储液槽设置在所述外摆线蚀刻槽道的外周。本发明基于外摆线属于最速降线、等时曲线的特性，在缩短冷却液在蚀刻槽道循环时间的同时，提高冷却液的循环频率，达到快速降温的效果。