一种具有螺旋曲线蚀刻槽道的超薄VC均热板及其设计方法

摘要

本发明涉及精密蚀刻技术领域，针对目前VC均热板体积大，厚度厚，冷却液蚀刻槽道长且不利于循环等技术问题，而提供一种具有螺旋曲线蚀刻槽道的超薄VC均热板及其设计方法，在VC均热板下盖板上设置有至少一个具有螺旋曲线蚀刻槽道的降温单元，所述降温单元包括初始储液槽、多条与所述初始储液槽相连通的螺旋曲线蚀刻槽道以及设置在所述螺旋曲线蚀刻槽道上的多个平衡温度储液槽；所述初始储液槽的位置与电子元器件的高温区为同一位置。本发明基于阿基米德螺旋曲线属于等速比、等距比螺旋曲线，利用其在柱面内过柱面上两点的各种曲线中螺线长度最短的特性，在缩短冷却液蚀刻槽道长度的同时，提高冷却液的循环频率，达到快速降温的效果。