实现半导体晶粒两端面与两侧面非同步等光程成像检测的光学装置与方法

摘要

本发明涉及半导体领域的光学仪器，特别涉及一种实现半导体晶粒两端面与两侧面非同步等光程成像检测的光学装置与方法，其特征在于：其中光学装置的光路方向上依次设置有相机、远心成像镜头、四面合像复合棱镜组件、四组转像棱镜组件、半导体晶粒和玻璃载物转盘，所述四面合像复合棱镜组件位于远心成像镜头的光轴上；该检测装置与方法简化了筛选机系统的结构复杂性，降低了筛选机系统的成本。