一种弯曲石墨结构嵌插节后氟化碳薄膜制备方法

摘要

本申请公开了一种弯曲石墨结构嵌插节后氟化碳薄膜制备方法，所述弯曲石墨结构嵌插节后氟化碳薄膜制备方法包括如下步骤(1)对惰性衬底进行彻底清洗；(2)将惰性衬底放在真空室内；(3)将辅助性碳氢源气体与碳氟源气体混合后通入工艺室；(4)对碳氢源气体与碳氟源气体进行电离分解；(5)在衬底上制备石墨烯层，在石墨烯层上设备保护层；(6)对衬底进行多次弯折后对衬底以及保护层进行去除得到氟化碳膜，本申请利用弯曲结构的石墨在纵方向进行热传导的特性，使得本氟化碳膜具有较为的热稳定性，本工艺均匀性以及重复性较好，污染少、成本低、容易操作。