一种重掺锑硅单晶中锑元素掺杂的方法及掺杂装置

摘要

本发明提供一种重掺锑硅单晶中锑元素掺杂的方法及掺杂装置。掺杂装置包括石英外罩和内载料漏斗，内载料漏斗材质选用在石墨基体上镀碳化硅涂层，内载料漏斗设置在石英外罩内部。漏斗的斗盖为配重盖，斗体下部是细长圆柱。使用时，掺杂装置通过石英外罩罩系上的连接孔放置到单晶炉内，载料漏斗下部细长圆柱部分浸入硅熔体中，随着漏斗内锑元素不断向硅熔体中掺入，漏斗内锑元素量减少，漏斗的配重盖沿着导轨下滑直到所有锑单质全部进入熔硅。由于整个掺杂过程斗体的细长圆柱部分始终处于硅熔体中，避免了锑蒸汽被炉内的氩气流吹走而造成损失。锑元素的掺入效率增加至90%，避免了重掺锑硅单晶因为掺入失败造成的成品率大幅下降。