公开/公告号CN114578658A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-06-03
原文格式PDF
申请/专利权人 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所);
申请/专利号CN202210214784.2
申请日2022-03-07
分类号G03F7/20;
代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人高燕
地址 100176 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号
入库时间 2023-06-19 15:32:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-03
公开
发明专利申请公布