一种通过调控静电作用力巨量转移micro-LED的装置及其工作方法

摘要

本发明公开了一种通过调控静电作用力巨量转移micro‑LED的装置，包括机械臂，机械臂旁设有安装架，安装架端部设有激光发射器，激光发射器旁设有micro‑LED芯片，安装架上还设有第一调节装置，第一调节装置上还设有分束片，安装架上方还设有固定架，固定架上设有第二调节装置，第二调节装置上设有反射镜，固定架上还设有光谱仪，机械臂旁还设有基板，机械臂上设有转移装置，本发明结构简单，根据光致发光检测具有快速、准确、分辨率高且无伤测试的特点，能够对micro‑LED芯片的电学性能和发光特性做出全面的判断，而且设置第一调节装置和第二调节装置，便于调节射线的角度，对micro‑LED芯片性能检测更加准确，而在micro‑LED芯片底部设有磁性物质，可以对Micro‑LED进行助磁处理。