一种二维压电对称驱动微纳定位平台

摘要

本发明提供了一种二维压电对称驱动微纳定位平台，包括：X方向驱动单元、Y方向驱动单元和连接组件；所述X方向驱动单元和所述Y方向驱动单元通过所述连接组件在竖直方向连接；所述X方向驱动单元包括：工作平台和两个第一桥式位移放大机构，两个所述第一桥式位移放大机构对称串联设置在所述工作平台的两端；所述Y方向驱动单元包括：连接梁和两个第二桥式位移放大机构，两个所述第二桥式位移放大机构对称串联设置在所述连接梁的两端；所述工作平台和所述连接梁平行正交。本发明克服了传统压电作动器输出位移曲线不对称的现象，解决了传统的作动器只能依赖结构的弹性完成回程位移的缺点，提高了执行器的定位精度。