一种压电调谐F-P滤波器的高精度装调系统、装调及调谐方法

摘要

本发明提供一种压电调谐F‑P滤波器的高精度装调系统、装调及调谐方法，通过二维精密测角模块测量F‑P滤波器内动腔镜和定腔镜相对反射镜面之间的二维倾角，测量结果可以溯源到激光波长，测量精度极高；通过六维精密调整模块根据二维精密测角模块所测量的F‑P滤波器内动腔镜和定腔镜相对反射镜面之间的二维倾角带动F‑P腔内动腔镜，实现F‑P腔内两反射镜面之间的平行度和初始腔长的精确调整，其中：平行度调节精度可以达到量级，腔长调节精度可以达到nm量级。本发明所提供的压电调谐F‑P滤波器的高精度装调系统结构简单，具备较高的自动化装调能力，可以大大降低压电调谐F‑P滤波器的装调难度，并大大提高装调效率。