一种用于半导体真空传输系统的大气侧晶圆状态获取方法

摘要

本发明涉及半导体制造的技术领域，公开了一种用于半导体真空传输系统的大气侧晶圆状态获取方法，其特征在于：在大气机器人的末端执行器设置有状态检测传感器，在大气机器人从LoadLock腔室的各层卡槽中取放晶圆之前，先利用状态检测传感器查询当前层卡槽内部是否有晶圆，并将查询结果存储下来，再将查询结果汇总上传至半导体真空传输系统，通知操作人员进行相应的晶圆增补。本发明的获取方法仅需要增设状态检测传感器即可，无需复杂的硬件，可以最大限度地减少成本，便于推广应用。