公开/公告号CN114556224A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-27
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申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN202080071911.7
发明设计人 周子理;乔安科·拉文斯卑尔根;
申请日2020-09-30
分类号G03F7/20;G03F9/00;G02B27/48;G02B27/09;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王益
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2023-06-19 15:26:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-27
公开
国际专利申请公布