一种晶圆切割二维移动平台横梁以及二维移动平台

摘要

一种晶圆切割二维移动平台横梁，包括横梁以及所述横梁上的两个滑动支撑结构，所述横梁两端分别从所述滑动支撑结构伸出，并在所述横梁的两端设置向下的压力，以减小横梁中部的挠曲变形。本发明中横梁两端伸出所述滑动支撑结构，两端受力的情况下，横梁中间部分就会向上翘曲，从而减小中间向下挠曲变形的幅度，使得所述横梁中部挠曲变形减小到很小的程度。从而提高设置在横梁中间零部件的运动过程的精度，进一步提高晶圆切割的精度。晶圆隐切装置中可以移动的横梁采用上述结构，横梁上的晶圆载台可以在运动过程中保持较高的水平度，从而提高了晶圆切割过程的精度。配合气浮运动机构，进一步减小了变形量，增加了精度。