一种提高晶圆良率的晶圆制造方法

摘要

本发明公开了一种晶圆制造方法，该方法在消光光阑制作前，先在切割道上形成工艺辅助结构。本发明解决了因涂胶不均匀使得结构厚度均匀差，从而导致指纹芯片采集图像的像素值不均匀的问题。