用于闪烁体沉积的基板固定装置、包括其的基板沉积装置以及使用其的闪烁体沉积方法

摘要

本发明的基板固定装置是用于固定基板，使得从至少一个蒸发源蒸发的沉积材料沉积在基板上的装置。所述基板固定装置，包括：基板温度调整部，用于向所述基板传热；以及基板固定部，联接于所述基板温度调整部的一侧面，用于固定所述基板，所述基板固定部以所述基板的前面向所述蒸发源方向暴露的方式固定所述基板，在所述基板固定部和所述基板的背面之间形成有空间。