公开/公告号CN114477560A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-13
原文格式PDF
申请/专利权人 芜湖市智睿包装制品有限公司;
申请/专利号CN202210210512.5
发明设计人 许道林;
申请日2022-03-04
分类号C02F9/04;C02F1/52;C02F1/24;C02F1/40;B01F27/72;
代理机构
代理人
地址 241000 安徽省芜湖市无为县松院小窑厂
入库时间 2023-06-19 15:19:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-31
实质审查的生效 IPC(主分类):C02F 9/04 专利申请号:2022102105125 申请日:20220304
实质审查的生效
机译: 加热设备,加热方法及基板处理设备
机译: 基板加热装置,基板处理系统及基板加热方法