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公开/公告号CN114481099A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-13
原文格式PDF
申请/专利权人 山东大学;
申请/专利号CN202210065072.9
发明设计人 张志慧;邓建新;
申请日2022-01-20
分类号C23C18/06;C23C18/12;C23C24/08;
代理机构
代理人
地址 250061 山东省济南市历下区经十路17923号
入库时间 2023-06-19 15:19:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-31
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C18/06 专利申请号:2022100650729 申请日:20220120
实质审查的生效
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