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一种卧式排气方法及卧式排气台

摘要

本申请涉及真空排气技术领域,尤其涉及一种卧式排气方法及卧式排气台,其中,卧式排气方法包括:S1,提供一个排气台,排气台具有真空室;S2,将行波管置于真空室内;S3,真空室封闭后,对行波管内部抽真空,对真空室抽真空,真空度达到第一设定值后,进行加热;S4,真空度达到第二设定值后,停止加热,并停止对真空室抽真空,然后进行冷却,真空室内的温度达到设定值后,打开真空室;S5,在行波管外表面安装磁钢,并对行波管通电,同时行波管内部抽真空。卧式排气台包括烘箱、内真空组件、外真空组件、支撑座。本申请提高了抽气排空的效率,缩减了老炼排气的时间。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-05-31

    实质审查的生效 IPC(主分类):F04B37/14 专利申请号:2021116791116 申请日:20211231

    实质审查的生效

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