一种超临界干燥装置及超临界干燥设备

摘要

本发明提供了一种超临界干燥装置及超临界干燥设备，用于对晶圆进行干燥。该超临界干燥装置包括具有至少两个腔室的干燥室，且该至少两个腔室相互之间连通。在每个腔室内设置有一个保持晶圆在其上的载台、以及设置在载台上方的喷嘴组件，其中，喷嘴组件用于向保持在载台上的晶圆表面喷洒超临界流体。在上述的方案中，通过采用由至少两个腔室组成的空间作为干燥室，在每个腔室内设置一套载台及喷嘴组件，从而一次可以对至少两个晶圆采用超临界干燥工艺进行干燥，实现对晶圆的批量干燥，提高超临界干燥装置对晶圆进行干燥的效率。