一种基于二维绝对光栅的五自由度测量系统及方法

摘要

本发明公开一种基于二维绝对光栅的五自由度测量系统，包括CCD相机、同轴光远心镜头、激光器、分束器、视场分离装置、二维绝对光栅编码盘、平面镜及图像处理模块；二维绝对光栅编码盘固定在精密工作台上；同轴光远心镜头发出的同轴光经过视场分离装置照射到二维绝对光栅编码盘上形成两个独立视场；CCD相机获取该视场内的图像并传送到图像处理模块，经处理后得到X‑Y‑θ位置信息；激光器发出的光经过分束器照射到粘贴在二维绝对光栅编码盘的平面镜上，经平面镜反射后光线投射给CCD相机；旋转精密工作台，CCD相机采集到平面镜上的轨迹信息，根据自准直原理分析采集到的光点轨迹即可实现倾斜误差测量。