应用于射频驱动等离子体以提高鞘层形成、演化与脉冲间稳定的方法及装置

摘要

射频产生器系配置以产生射频讯号。射频讯号透过具有一种或多种状态的脉冲调变。在脉冲启动的初始状态期间，射频产生器透过选择射频讯号的频率来调整阻抗匹配。在脉冲的第二状态期间，射频产生器使用匹配网络调整阻抗匹配。第一状态包含控制射频产生器以输出功率突发，且第二状态包含控制产生器以输出操作功率。