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公开/公告号CN114397716A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-26
原文格式PDF
申请/专利权人 常州工学院;
申请/专利号CN202111541605.8
发明设计人 田胜楠;冯佳麒;王俊杰;吴倩倩;霍晓东;杨勋;杨明;
申请日2021-12-16
分类号G02B1/00;G02B27/00;
代理机构
代理人
地址 213031 江苏省常州市新北区辽河路666号
入库时间 2023-06-19 15:03:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-26
公开
发明专利申请公布
机译:半导体晶片表面的超分辨率光学缺陷检查通过常设波移(e,例如19)-3光通磁通干扰的自动生成方法的检查
机译:半导体激光二极管泵浦双偏振四波长掺钕钒酸钇薄片激光