公开/公告号CN114402262A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-26
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN202080061323.5
申请日2020-07-31
分类号G03F7/20;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王益;张启程
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2023-06-19 15:03:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-26
公开
国际专利申请公布
机译: Τ对的τττρανραντατ