基于测试元件组图案的关键路径复制实例测量方法

摘要

本申请公开了一种基于测试元件组图案的关键路径复制实例测量方法，包括：选定半导体存储器件产品电路设计中的关键路径；复制所述关键路径，得到关键路径复制实例；对关键路径复制实例进行布局，形成测试元件组图案；以与对实际存储器件产品电路进行测试时相同的处理条件测量测试元件组图案，得到测量结果。本申请的方法复制得到关键路径复制实例，对关键路径复制实例进行布局，形成测试元件组图案，以与对实际存储器件产品电路进行测试时相同的处理条件测量测试元件组图案，得到测量结果，在存储器件产品功能测试之前即可完成测量过程，降低了测量成本，提高了工作效率。