激光照射设备、激光照射方法和用于制造半导体装置的方法

摘要

一种激光照射设备，其包括：激光光源，其构造成发射线性偏振的脉冲激光；第一半波片，其可旋转地设于所述脉冲激光的光路中；第一偏振分束器，其构造成使来自第一半波片的所述脉冲激光分支为第一脉冲光和第二脉冲光；第二偏振分束器，其构造成将第一脉冲光与第二脉冲光进行组合，第二脉冲光通过利用第一脉冲光与第二脉冲光之间的光路长度差而相对于第一脉冲光延迟；以及第一波片，其可旋转地设于组合脉冲激光的光路中，所述组合脉冲激光通过在第二偏振分束器处将第一脉冲光与第二脉冲光进行组合而产生。