法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-09-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 49/00 授权公告日:20130403 终止日期:20130729 申请日:20100729
专利权的终止
2013-04-03
授权
授权
2011-03-09
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 49/00 申请日:20100729
实质审查的生效
2011-01-12
公开
公开
机译: 用于控制微机械致动器的控制器,特别是用于微机械致动器的微机械致动器,控制系统,微机械系统以及控制微机械致动器的方法
机译: 用于控制微机械致动器的控制器,特别是微机电系统,控制系统,微机电系统以及用于控制微机械致动器的方法
机译: 用于控制微机械致动器的控制器,用于控制微机械致动器的控制系统,微镜系统和用于驱动微机械致动器的方法