基于启发式搜索的周期纳米结构形貌参数测量方法及装置

摘要

本发明提供了一种基于启发式搜索的周期纳米结构形貌参数测量方法及装置，其方法包括：获取待测周期纳米结构的测量信号；基于待测周期纳米结构的三维形貌参数设计值以及光学散射特性建模方法构建仿真信号数据库和雅克比矩阵数据库；建立启发式搜索模型，并基于启发式搜索模型、仿真信号数据库、雅克比矩阵数据库确定与测量信号对应的目标仿真信号；基于仿真信号数据库确定与目标仿真信号对应的目标三维形貌参数离散值，并将目标三维形貌参数离散值作为待测周期纳米结构的三维形貌参数。本发明通过启发式搜索，在保证周期纳米结构形貌参数测量准确性的同时，可极大提升测量周期纳米结构形貌参数的效率。