一种非球面补偿元件的加工方法及非球面补偿元件

摘要

本申请提供的非球面补偿元件的加工方法，利用激光直写光刻设备，通过辅助靶标设计实现精准套刻，利用多步光刻的加工方式实现在保障加工精度的前提下完成超大尺寸的非球面补偿元件CGH的制作。