公开/公告号CN114329939A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-12
原文格式PDF
申请/专利权人 江苏联峰能源装备有限公司;
申请/专利号CN202111588100.7
申请日2021-12-23
分类号G06F30/20(20200101);C21C7/10(20060101);G06F119/08(20200101);
代理机构32382 南京智造力知识产权代理有限公司;
代理人冯燕平
地址 215628 江苏省苏州市张家港市南丰镇永联
入库时间 2023-06-19 14:51:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-12
公开
发明专利申请公布
机译: 温度测量装置的校准方法,光刻设备和物品的制造方法