公开/公告号CN114334686A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-12
原文格式PDF
申请/专利权人 三星电子株式会社;
申请/专利号CN202111132617.5
申请日2021-09-26
分类号H01L21/66(20060101);H01L21/50(20060101);G01R31/28(20060101);G01N27/00(20060101);G11C29/56(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人吴晓兵
地址 韩国京畿道
入库时间 2023-06-19 14:51:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-12
公开
发明专利申请公布