用于增强型缺陷检验灵敏度的以无监督学习为基础的参考选择

摘要

本发明公开一种光学特性化系统及其使用方法。所述系统包括经配置以与经配置以从样本接收照明且产生图像数据的一或多个检测器通信地耦合的控制器。一或多个处理可经配置以：接收所述样本上的裸片的图像；计算所述图像的所有组合的相异性值；执行集群分析以将所述图像的所述组合分割成两个或更多个集群；使用所述两个或更多个集群中的集群中的所述图像的所述组合中的两者或更多者产生所述集群的参考图像；及通过比较所述集群中的测试图像与所述集群的所述参考图像来检测所述样本上的一或多个缺陷。