一种大面积靶片用离子注入系统及离子注入方法

摘要

本发明提供一种大面积靶片用离子注入系统及离子注入方法，离子注入系统包括离子束产生模块、真空注入模块、装载模块和大气传送模块，离子束产生模块、真空注入模块、装载模块以及大气传送模块依次相连，即离子束产生模块连接到真空注入模块，真空注入模块与装载模块相连接，装载模块与大气传送模块相连接。本发明开创性地将多个离子源装置进行组合，通过拓展线圈和准直线圈得到了所需有效高度的离子束，且离子束的束流宽度较小、离子密度较高，实现了对大尺寸玻璃基板进行离子注入的技术。