一种回收液氩贮槽中蒸发氩气的方法、装置以及适合的低温氩气压缩机

摘要

本发明公开了一种回收液氩贮槽中蒸发氩气的方法、装置以及适合的低温氩气压缩机。本发明的方法包含提供一液氩贮槽和一氩气冷凝装置，所述液氩贮槽具有5～10kPag的气体压力以及与氩气冷凝装置相连的氩回收管路，将液氩贮槽中的蒸发氩气经设置在氩回收管路上的低温氩气压缩机压缩，得到压力大于或等于50kPag的增压后氩气，将所述增压后氩气输入氩气冷凝装置，冷凝后获得液氩。还包含设置三个压力指示控制器，变频控制器，旁通管路和放空管路来调控液氩贮槽中的压力。