公开/公告号CN114279513A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-05
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市千宝通通科技有限公司;
申请/专利号CN202111605237.9
申请日2021-12-24
分类号G01F15/07(20060101);
代理机构11508 北京维正专利代理有限公司;
代理人齐记;俞振明
地址 518000 广东省深圳市龙岗区平湖街道新木大道6号新木盛低碳产业园厂房B栋6楼东一
入库时间 2023-06-19 14:46:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-05
公开
发明专利申请公布
机译: 气缸装置,压机装置,压脚装置,气缸装置的操作方法,压脚方法及压机方法
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置