公开/公告号CN114269496A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-01
原文格式PDF
申请/专利权人 ALD真空技术有限公司;
申请/专利号CN202080057560.4
申请日2020-08-12
分类号B22F9/08(20060101);B22F10/14(20210101);B22F10/28(20210101);B22F10/00(20210101);B33Y80/00(20150101);H05B6/44(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 德国哈瑙市
入库时间 2023-06-19 14:43:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-01
公开
国际专利申请公布