缺陷部识别装置及缺陷部识别方法

摘要

本发明能够机械识别多层膜基板中的缺陷部的状态，且能够进行不受操作者的技能影响的修正加工。缺陷部识别装置具备：显微镜，对多层膜基板的表面照射白色落射光，而在表面获得识别缺陷部的单位区域的放大像；光谱分光摄像机，具有成像放大像的摄像面，且按摄像面的每个像素输出放大像的分光光谱信息；及信息处理部，处理从光谱分光摄像机输出的分光光谱信息，信息处理部具备：机械学习部，对每个像素的分光光谱信息进行聚类处理；及缺陷识别部，根据机械学习部的处理结果来识别缺陷部，机械学习部根据单位区域内所存在的层结构来设定集群，并生成将聚类于集群的像素数作为频数的直方图，缺陷识别部将所生成的直方图的频数分布与不存在缺陷的直方图的频数分布进行比较，并通过具有频数差的集群的存在来识别缺陷部。