增强内部流场的基板容器

摘要

本发明公开一种增强内部流场的基板容器，包含盒体、至少一个偏位充气机构及至少一个气体扩散机构，偏位充气机构设置于盒体的内部容置空间之外，偏位充气机构具有平行底板的气室，气体扩散机构包括底座、隔离墙及至少一个扩散构件，底座罩覆于气室的出气口而形成副气室，隔离墙垂直底板延伸而形成垂直的第一气体通道，第一气体通道连通副气室，扩散构件与隔离墙夹合形成第二气体通道，隔离墙具有至少一个孔隙以连通第一气体通道及第二气体通道。本发明改善了基板容器的流场仅限于底部的问题，增强了基板容器的内部流场，维护基板质量。