制造集成电路的方法和静电放电测试系统

摘要

在一种涉及执行静电放电(ESD)测试的制造集成电路的方法中，通过将多个第一电磁波顺序地辐射在包括集成电路的第一测试板上来检测弱频带。通过将多个第一电磁波顺序地辐射在包括电磁波接收模块的第二测试板上来检测第一峰峰电压信号。通过将第二电磁波辐射在包括具有电磁波接收模块的第三测试板的壳体上来检测频谱。基于弱频带、第一峰峰电压信号和频谱来产生第二峰峰电压信号。基于第二峰峰电压信号来预测与包括集成电路的电子系统相关联的ESD特性。