一种实现表面精细结构的抛光方法及装置

摘要

一种实现表面精细结构的抛光方法，包括以下步骤：(1)向被抛光面供给含有抛光颗粒的抛光液；(2)将脉冲激光器对准扩束器得到扩束后的脉冲激光束；(3)将扩束后的脉冲激光束对准模板上的小孔得到具有特定图案的脉冲激光束；(4)将具有特定图案的脉冲激光束对准聚焦透镜组得到聚焦后的脉冲激光束；聚焦后的脉冲激光束入射到透明导流板，作用于抛光液流层。本发明还提供一种实现表面精细结构的抛光方法的装置。本发明将聚焦透镜将脉冲激光能量汇聚到一个较小的区域，有效圈定需要实现的抛光区域，实现定区域抛光，从而实现对表面具有精细激结构器件的超精密抛光。