公开/公告号CN114231795A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-25
原文格式PDF
申请/专利权人 佛山市天禄智能装备科技有限公司;
申请/专利号CN202111587580.5
申请日2021-12-23
分类号C22C19/05(20060101);C22C30/00(20060101);C22C1/02(20060101);B22C3/00(20060101);B22D13/00(20060101);F27B7/22(20060101);
代理机构44202 广州三环专利商标代理有限公司;
代理人王建宇
地址 528000 广东省佛山市禅城区智慧路4号十五座一至二层
入库时间 2023-06-19 14:40:39
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-25
公开
发明专利申请公布
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置