拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法

摘要

本公开提供一种拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法，所述拉晶炉软轴清理装置包括：设置于拉晶炉的副室内腔的支撑固定组件；及设置于所述副室内腔的吹扫组件，所述吹扫组件通过所述支撑固定组件固定于所述副室内腔；其中所述吹扫组件包括：吹风头，其吹风口朝向拉晶炉的籽晶提拉软轴的外表面，用于吹扫所述籽晶提拉软轴的外表面；送风管，与所述吹风头连通；及供风部件，与所述送风管连通。本公开实施例提供的拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法，可无需拆装软轴，对拉晶炉软轴进行自动吹扫，避免了软轴拆解产生的影响精度、寿命及二次污染的问题，且可提升生产效率。