内外腔表面粗糙度高精度测量光路结构及自动化测量系统

摘要

本发明公开了一种内外腔表面粗糙度高精度测量光路结构及自动化测量系统，该测量结构及自动化测量系统的关键部件为无损光路测量结构，主要包括集成光路和潜望镜式转折光路，集成光路包括白光光源、第一分束镜和相机，第一分束镜将一部分光出射至潜望镜式转折光路内，潜望镜式转折光路内设有若干平面反射镜将分束镜出射的光反射至潜望镜式转折光路的末端，潜望镜式转折光路的末端连接有Mirau干涉物镜，用于将光束出射到待测的部件内外腔上；相机设置在分束镜的反射光路上，部件内外腔表面反射的测量光与Mirau干涉物镜中的参考光发生干涉，干涉图像由相机拍摄获取。本发明的无损光路测量结构，可以实现不同长径比的部件内外腔的高精度测量。