公开/公告号CN114235215A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-25
原文格式PDF
申请/专利权人 成都海光微电子技术有限公司;
申请/专利号CN202111490949.0
申请日2021-12-08
分类号G01K15/00(20060101);
代理机构11463 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人杨奇松
地址 610000 四川省成都市高新区中国(四川)自由贸易试验区成都天府大道中段1366号2栋天府软件园E5座12层23-32号
入库时间 2023-06-19 14:39:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-25
公开
发明专利申请公布
机译: 温度测量装置的校准方法,光刻设备和物品的制造方法