含力与位移双传感的直线式压电作动器及其作动方法

摘要

本发明公开了含力与位移双传感的直线式压电作动器及其作动方法，该作动器自上而下由质心位于同一直线的力传感部件，位移传感部件，作动部件组成，力传感部件由限位层、力传感柔性帽、力霍尔元件、永磁体及磁铁支撑架构成，位移传感部件由位移霍尔元件，与力传感部件共用的永磁体与磁铁支撑架构成，作动部件由圆柱外壳、调节螺钉、弹性钳位单元、椭圆环、压电堆、作动块构成；力传感部件螺纹固接于圆柱外壳，位移霍尔元件粘接于作动部件上方；本发明结构紧凑，断电锁止，钳位力可调节，采用比例式线性霍尔传感器感知输出力与位移，基于惯性式作动原理，利用非对称锯齿波驱动电压，可在三种负载工况下产生直线位移输出。