公开/公告号CN114207787A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-18
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN202080055950.8
申请日2020-05-06
分类号H01L21/3213(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人谭天;孙雅雯
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 14:32:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-18
公开
国际专利申请公布