公开/公告号CN114189212A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-15
原文格式PDF
申请/专利权人 卓捷创芯科技(深圳)有限公司;
申请/专利号CN202210140671.2
发明设计人 吴边;
申请日2022-02-16
分类号H03B5/04(20060101);H03B5/12(20060101);
代理机构
代理人
地址 518067 广东省深圳市南山区蛇口南海大道1079号花园城数码大厦B座402
入库时间 2023-06-19 14:29:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-15
公开
发明专利申请公布
机译: 温度测量装置的校准方法,光刻设备和物品的制造方法