公开/公告号CN114166716A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-11
原文格式PDF
申请/专利权人 长江水利委员会长江科学院;
申请/专利号CN202111403709.2
申请日2021-11-24
分类号G01N15/08(20060101);G01N3/12(20060101);
代理机构42113 武汉楚天专利事务所;
代理人孔敏
地址 430010 湖北省武汉市黄浦大街23号
入库时间 2023-06-19 14:29:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-11
公开
发明专利申请公布
机译: 隐形特征检测装置,薄片识别装置,薄片处理装置,印刷检查装置以及隐形特征检测方法
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置