公开/公告号CN114171424A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-11
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申请/专利权人 长鑫存储技术有限公司;
申请/专利号CN202010947256.9
申请日2020-09-10
分类号H01L21/67(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司;
代理人张娜;刘芳
地址 230011 安徽省合肥市经济开发区空港工业园兴业大道388号
入库时间 2023-06-19 14:28:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-11
公开
发明专利申请公布