公开/公告号CN114171436A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-11
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申请/专利权人 北京北方华创微电子装备有限公司;
申请/专利号CN202111445138.9
申请日2021-11-30
分类号H01L21/67(20060101);B08B3/08(20060101);B08B3/10(20060101);B08B11/00(20060101);
代理机构11315 北京国昊天诚知识产权代理有限公司;
代理人姜凤岩
地址 100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
入库时间 2023-06-19 14:28:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-11
公开
发明专利申请公布