一种体散射光学材料表面微缺陷检测装置及其检测方法

摘要

本申请提供一种体散射光学材料表面微缺陷检测装置及其检测方法，其中一种体散射光学材料表面微缺陷检测装置包括：光源发射器，用于发射照明光源；支架，用于安装所述光源发射器，所述支架倾斜角度可调；起偏器，设于相对靠近所述支架的较低侧；样品托架，设于所述起偏器相对远离所述支架侧，用于放置样品；显微镜，设于所述样品托架的正上方。通过调节起偏器使得照明光源处于特定的偏振模式，并通过支架可调节照明光源的入射角度，降低照明光源的透过率，故而降低样品的体散射光对材料表面微缺陷检测的影响，使得设在样品托架正上方的显微镜可清晰的观察到体散射光学材料样品表面的缺陷。